由于其優越的性能，干式螺桿真空泵已成為電子行業、半導體、制藥、精密加工等行業首選的真空采集設備。日本在螺桿式壓縮機的基礎上，很早就開發出真空泵的多頭轉子型線，并投入市場。德國幾家真空設備公司已逐步開發出等螺距和變螺距的轉子型線，并對螺桿泵在轉子和機體冷卻方面的關鍵技術問題做了大量研究。

　　作為抽氣設備的真空泵，隨著工業要求的不同，有各種各樣的真空泵。二十世紀領先該技術類別的產品是光滑密封泵，排放油霧，嚴重污染環境;只要滿足少數行業的特殊需求，采用無油泵或水環泵的泵(濕泵)。這些泵真空度低，水和能源消耗嚴重。如果有干燥的要求，他們必須采用繁瑣的物理和化學吸附和低溫冷凝。成本很貴，比如隔膜泵，真空度低，抽速低。吸附泵不僅泵速低，而且液氮成本高。簡而言之，它們可以直接排放到大氣和高真空中。此外，還有羅茨泵采用多葉片串聯停止串聯，其缺陷與爪式泵相同。

　　干式螺桿真空泵是一種容積式泵，它利用一對螺桿轉子在泵殼內高速同步反向旋轉，產生吸排功能。主要用于高純度真空工藝，真空度高，能適應惡劣的工作條件，具有提取可凝性和顆粒狀氣體的能力，特別適用于電子、化工、生物醫藥、金屬加工、食品加工等領域。

　　隨著我國工業領域的現代化發展，對環保和清潔的真空環境的要求也會越來越高，而傳統的有油真空泵已無法達到這一的要求。干式螺桿泵真空泵以其顯著特點：結構簡單緊湊、抽速范圍廣、抽氣腔元件無摩擦、壽命長，能耗低，無油無污染等，得到更多工業企業的重視和使用。這無形中會改變原本不夠環保的大環境，干式螺桿真空泵在真空設備大家族的地位也將進一步提升。