集成電路羅茨真空泵好凱德Hokaido超高真空度羅茨泵

可應用于：真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗、微電子及集成電路、燈管及燈泡制造、真空包裝、集中抽氣系統、各類化工處理、真空脫汽、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾等領域。

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德國好凱德Hokaido 高真空度羅茨泵集成電路羅茨真空泵

產品特點

氣體循環冷卻羅茨真空泵主要由轉子，泵體冷卻器等組成，轉子在泵膠內每旋轉120度并完成一次吸、排氣的過程。冷卻氣體從泵體的兩側進入泵的吸氣腔，使泵不會因壓縮氣體而出現過熱，但對泵的抽氣性能沒有任何形晌。抽氣效率、噪聲、振動等性能比傳統二葉羅茨泵顯著提高。氣冷泵的轉子采用漸開線的線型結構．轉動時無接觸且保持恒定間隙。由于該特殊的專利結構，氣冷泵可以在高壓差和高壓縮比下長期可靠運行，既可單獨便用，也可多臺串聯使用，或與其他真空泵組成機組，達到更高真空度來滿足各類工藝要求。
特點：
·單獨使用時直排大氣的極限真空度可以達到150mbar。
·多級串聯或與其它前級泵串聯可以達中真空范圈。
·特殊專利結構確保泵在高壓差和離壓縮比運行時不會過熱和過載。
·三葉漸開線型線結溝和高精度機械加工確保產品運轉平穩安靜。
·先進的平衡式機械密封使泵的密封性能比傳統骨架密封更可靠。
·泵膠為無油結溝．適用于抽除一般空氣及各種特殊氣體。
廣泛應用于：真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗、微電子及集成電路、燈管及燈泡制造、真空包裝、集中抽氣系統、各類化工處理、真空脫汽、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾。

RVQ 系列羅茨真空泵 Roots Vacuum Pump
型號Model	50HZ	RVQ0540	RVQ1100	RVQ2200	RVQ4300	RVQ9000	RVQ14000	RVQ18000	RVQ36000
額定流量 Rated airflow	m³/h	540	1100	2200	4300	9000	14000	18000	36000
額定流量 Rated airflow	L/S	150	300	600	1200	2500	3750	5000	10000
極限壓力 Ultimate pressure	Pa	15000
配用功率Power	kw	3-18.5	5.5-37	7.5-75	11-132	22-280	30-400	37-500	55-1000
轉速Nominal speed	rpm	2900		1460	1470	980	1470	980	1470
進氣口Suction	mm	125		250	300	350	350	400	500
排氣口Discharge	mm	125		250	300	350	350	400	500
最大耗水Maxwaterconsumption	L/h	3500	6000	9000	15000	28000	35000	45000	6000
泵頭重量Weight	kg	300	300	600	1200	2300	2300	3200	5000
注：泵的電機功率及冷卻器面積是根據工作壓差決定的,不同的壓差可配置不同的電機及冷卻器。 Note: the motor power and the cooler area of the pump is designed in accordance with the operating pressure differential, where the various pressure differential can be configured with different motor and cooler.